適用製品
ホウ化水素含有シートの製造方法、ホウ化水素含有シート、およびその利用
目的
従来よりも大きなホウ化水素含有シートを得ることができるホウ化水素含有シートの製造方法およびホウ化水素含有シートを提供する。
効果
ホウ化水素含有シートのサイズを増加させることができる。
技術概要
ホウ化水素含有シートの製造方法であって、
ホウ化金属とイオン交換材料とを接触させてホウ化水素を得ることと、
前記得られたホウ化水素と液状媒体とを含む混合液を基板上で加熱することによって、前記基板上でホウ化水素含有シートを形成することと、
を含む、方法。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
