目的
大きな装置を特別に用意することなく、長尺の真空容器や金属配管の内面にシリカ、アルミナ、チタニアなどの金属酸化物膜をコーティングする方法及び装置を提供する。従来、内面処理にはＣＶＤや原子層堆積法を用いたが、巨大な真空容器が必要で、かつ大型加熱装置が必要で、装置コストやエネルギーコストが高額であったところを、巨大真空容器が不要で、被処理真空容器や金属配管の内面に低コストでコーティングする。
効果
真空容器や金属配管の内面に金属酸化膜を形成し、耐腐食性の向上の機能をもたらすことができる。
技術概要
容器あるいはパイプ形状の被処理対象の内面に酸化膜を形成する方法であって、
少なくとも一つの被処理対象を接続される接続管に結合部を連結して当該被処理対象内を密閉状態とし、
前記結合部には、前記被処理対象内のガスを排気できる排気手段と、前記被処理対象内に有機金属ガスを導入して充満させる有機金属ガス導入手段と、水蒸気を含む希ガスからなる加湿ガス内にプラズマを発生させ励起させたガスを前記被処理対象内に導入して充満させる励起加湿ガス導入手段とを連結し、
（１）前記有機金属ガス導入手段により、前記被処理対象内に前記有機金属ガスを導入する工程と、
（２）前記排気手段により、前記被処理対象内の前記有機金属ガスを排気する工程と、
（３）前記励起加湿ガス導入手段により、前記被処理対象内に前記励起された加湿ガスを導入する工程と、
（４）前記排気手段により、前記被処理対象内の前記励起された加湿ガスを排気する工程と、
を実行し、（１）〜（４）の工程を繰り返すことで、前記被処理対象の内面に酸化膜を形成することを特徴とする内面コーティング方法。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
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