適用製品
酸化物薄膜形成方法及び酸化物薄膜形成装置
目的
ナノ微粒子表面にも金属酸化膜を形成することができる酸化物薄膜形成方法及び酸化物薄膜形成装置を提供する。
効果
ナノ微粒子を効率よく一か所に留め置き、ナノ微粒子表面に金属酸化物被膜を施工でき、これによりナノ微粒子表面の電気伝導性の制御や、親水性の付与などの表面改質の効果をもたらすことができる。
技術概要
ナノ粒子表面に酸化物薄膜を形成する酸化物薄膜形成方法であって、
金属容器内にナノ粒子を載置する処理容器を設けると共に当該処理容器内に載置したナノ粒子を物理的に攪拌する攪拌手段を設け、この処理容器の底面の下方に電極を底面の面方向に亘って部分的に複数個設け、
一方、金属容器には、金属容器内のガスを排気できる排気手段と、金属容器内に有機金属ガスを導入して充満させる有機金属ガス導入手段と、金属容器内に励起された加湿ガスを導入して充満させる加湿ガス導入手段とを連結し、
処理容器内にナノ粒子を載置し、電極に金属容器を基準として電圧を印加しながら、攪拌手段により間欠的又は連続して攪拌し、
（１）有機金属ガス導入手段により、金属容器内に有機金属ガスを導入する工程と、
（２）排気手段により、金属容器内の有機金属ガスを排気する工程と、
（３）加湿ガス導入手段により、金属容器内に励起された加湿ガスを導入する工程と、
（４）排気手段により、金属容器内の励起された加湿ガスを排気する工程と、
を実行し、（１）〜（４）の工程を繰り返すことで、ナノ粒子の表面に酸化膜を形成することを特徴とする酸化物薄膜形成方法。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
