目的
更なる高画質化及び小型化を可能とした垂直色分離型のカラー撮像素子を提供する。
効果
更なる高画質化及び小型化を可能とした垂直色分離型のカラー撮像素子を提供することが可能である。
技術概要
少なくとも光の入射方向から順に、一の波長域の光を吸収して光電変換を行い、且つ、一の波長域とは異なる他の波長域の光を透過する一の光電変換部と、一の光電変換部で発生した信号電荷を読み出す一の信号読出部とが設けられた一の光電変換回路層と、
他の波長域の光を吸収して光電変換を行う他の光電変換部と、他の光電変換部で発生した信号電荷を読み出す他の信号読出部とが設けられた他の光電変換回路層とが積層された画素回路を備え、
信号読出部は、半導体層と、ゲート絶縁層を介して半導体層と交差するように配置されたゲート電極と、半導体層のゲート電極を挟んだ両側に配置されたソース電極及びドレイン電極とを含む薄膜トランジスタと、薄膜トランジスタを覆うように配置された保護層とを有し、
光電変換部は、画素電極と、画素電極及び保護層の上に配置された有機膜と、有機膜の上に配置された対向電極とを有し、
光電変換部に対応した有機膜の違いに応じて、信号読出部に対応した薄膜トランジスタと対向電極との間で発生する容量カップリングの差異を補償するように、薄膜トランジスタと有機膜との間に容量補償層が設けられていることを特徴とするカラー撮像素子。