適用製品
固体微粒子集積してなる、複合体の製造方法、パターンを形成する、製造方法
目的
従来技術では達成することが困難であった、固体微粒子の集積を容易に実施し、パターン形成も容易にする技術を提供する。
効果
感光性を有しない透明性の高いコーティング膜形成材料、固体電解質型燃料電池電解質材料、発光ダイオードや光応答半導体材料、抵抗体膜形成材料、金属磁性体粉末材料、超電導材料、圧電セラミックス厚膜材料、誘電体膜材料、微粒子結合材料等の機能性材料の固体微粒子であっても、超短パルスレーザ光集光位置を移動させることで、パターンを形成することが可能となる。
技術概要
金属のイオン、コロイド、及び/または錯体を含む溶液に、超短パルスレーザ光を照射することで金属を析出させ、前記溶液中に分散された、金属酸化物粒子、非金属酸化物粒子、又はセラミクス粒子からなる固体微粒子を集積して、前記析出した金属に被覆する工程を含み、
前記超短パルスレーザ光のフルエンスが0.01mJ/cm↑2〜10mJ/cm↑2であり、
前記固体微粒子が、0.005μm〜1μmの直径を有する、
ことを特徴とする、固体微粒子で被覆された金属からなる複合体の製造方法。