目的
感度が高く、応答・回復特性に優れ、かつ低い消費電力で水素ガスを検知することが可能な水素ガスセンサと、その好適な製造方法を提供する。
効果
感度が高く、応答・回復特性に優れ、かつ低い消費電力で水素ガスを検知することが可能である。また、感度が高く、応答・回復特性に優れ、かつ低い消費電力で水素ガスを検知することが可能な水素ガスセンサを製造することができる。
技術概要
絶縁表面を有する基板と、
前記基板の前記絶縁表面上に形成された第１パッド電極及び第２パッド電極と、
前記基板の前記絶縁表面上に、前記第１パッド電極と前記第２パッド電極とを連結するように形成された、５０ｎｍ以上１５０ｎｍ以下の線幅及び１０ｎｍ以上６０ｎｍ以下の厚さを有し、水素吸蔵金属からなるナノワイヤと、
を有し、前記第１パッド電極と前記第２パッド電極との間に電流を流し、前記第１パッド電極と前記第２パッド電極との間で検出される電気信号の変化に基づいて、水素ガスを検出する水素ガスセンサ。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
