目的
複数の粒子（導電性粒子）を同時に吸着することのできる静電吸着装置を提供する。
効果
所定数の導電性粒子、すなわち、複数の導電性粒子を同時に吸着することができる。また、吸着電極の数、形状及び／又は大きさなどを変更することによって、所定数、すなわち、導電性粒子の吸着量（吸着個数）を調整することも可能である。
技術概要
多数の導電性粒子からなる導電性粒子群に基準電位を与える基準電極と
絶縁被覆が施された吸着面を有する少なくとも一つの吸着電極と、
印加をオンオフするスイッチ部と、
吸着面が前記導電性粒子群に近接又接触する吸着位置と前記吸着面が吸着位置よりも導電性粒子群から離れた退避位置との間で移動させる移動機構と、
を含み、
吸着位置に移動させ、少なくとも一つの吸着電極に吸着電圧を印加することにより、基準電位が与えられている導電性粒子群の各導電性粒子のうち、少なくとも一つの吸着電極の吸着面に近接又は接触する複数の導電性粒子に吸着電圧とは逆極性の電荷を誘起させて複数の導電性粒子を吸着面に一層の状態で吸着させ、
その後、吸着位置から退避位置に移動させることによって、吸着面に吸着した複数の導電性粒子を、導電性粒子群の吸着面に吸着しなかった他の導電性粒子から分離して取り出すように構成されており、
吸着面に吸着した複数の導電性粒子は、他の導電性粒子から分離された後、基準電極に電気的に接触しない、
静電吸着装置。
基本情報
開放特許情報
)
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