適用製品
電子部品、金属部品、樹脂部品の耐腐食性および防湿性を持たせる保護膜の形成方法と評価方法
目的
電子部品に防食性及び防湿性のある膜を、室温原子層堆積法を用いて作製し、防食性・耐湿性のある積層コーティング層を提供し、さらに、積層コーティング層が簡易に適切であるかどうかを判断する方法を提供する。
効果
電子部品や樹脂部品に耐腐食・防食性を与える保護膜となる積層コーティング層及びその形成方法が提供され、その効果を最適化させる膜の構造が示されることで、上記耐腐食・防食の効果を高めることが可能である。
また、積層コーティング層が適正な膜構造であることを簡便に判定できる積層コーティング層の判定方法を提供することができる。
技術概要
表面が親水性表面である被処理対象物上に低温原子層堆積膜で構成された金属酸化膜を含むコーティング層であり、前記コーティング層において被処理対象物の表面から密着層、防湿層、及び防水層の少なくとも２層を少なくとも１組具備し、
前記密着層は、シリカ膜からなり、
前記防湿層は、アルミナを主成分とする膜であり、
前記防水層は、シリカ膜、酸化ニオブ膜及び酸化ジルコニウム膜から選択される金属酸化膜、及び樹脂膜の少なくとも１種の膜からなる、
積層コーティング層。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
