適用製品
強誘電性ポリマー素子の製造方法、強誘電性ポリマー素子および圧電センサ
目的
強誘電層を平坦に形成する強誘電性ポリマー素子の製造方法、強誘電性ポリマー素子および圧電センサを提供する。
効果
非プロトン性極性溶媒にポリフッ化ビニリデン系ポリマーが溶解されたポリマー溶液を有版印刷により一方の電極上に塗布し、ポリフッ化ビニリデン系ポリマーが結晶化するようにポリマー溶液を焼成して強誘電層が形成されるので、強誘電層を平坦に形成する強誘電性ポリマー素子の製造方法、強誘電性ポリマー素子および圧電センサを提供することが可能となる。
技術概要
基板上に一方の電極を配置し、
非プロトン性極性溶媒を含む溶媒にポリフッ化ビニリデン系ポリマーが溶解されたポリマー溶液を有版印刷により前記一方の電極上に塗布し、
前記ポリフッ化ビニリデン系ポリマーが結晶化するように前記ポリマー溶液を焼成して強誘電層を形成し、
前記強誘電層上に他方の電極を配置する強誘電性ポリマー素子の製造方法。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
