目的
圧電素子の検出感度を向上させる圧力検出装置を提供する。
効果
押圧部は、圧電素子の表面から突出する突出量が圧電素子から対向板にわたる厚みより大きくなるように形成され、固定部の押圧に伴って圧電素子の中央部周辺の少なくとも一部を押圧面で押圧して、圧電素子の中央部に対して縁部の動きを抑制するので、圧電素子の検出感度を向上させる圧力検出装置を提供することが可能となる。
技術概要
被検体に対向して配置される対向板と、
前記対向板の上側に配置されると共に強誘電性を有する強誘電層を一対の電極で挟むように形成され、前記対向板を介して伝達される前記被検体からの圧力変化を検出する圧電素子と、
前記圧電素子の中央部周辺の少なくとも一部に対向する押圧面を有し、前記圧電素子の表面から突出する突出量が前記圧電素子から前記対向板にわたる厚みより大きくなるように形成された押圧部と、
前記押圧部を覆うように配置され、前記押圧部を押圧しつつ前記対向板、前記圧電素子および前記押圧部を前記被検体に対して固定する固定部と
を備え、
前記押圧部は、前記固定部の押圧に伴って前記圧電素子の中央部周辺の少なくとも一部を前記押圧面で押圧して、前記圧電素子の中央部に対して縁部の動きを抑制する圧力検出装置。
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