目的
時間分解能が高い走査型イオンコンダクタンス顕微鏡を提供する。
効果
時間分解能が高い走査型イオンコンダクタンス顕微鏡を提供できる。
技術概要
電解質液に対象物が浸された試料と内部にプローブ電極が設けられた計測用のプローブとのＺ方向の距離を変化させるように構成されたＺスキャナーと、
プローブ電極と前記プローブ外の電解質液との間を流れる電流を計測するように構成された微小電流計測器と、
微小電流計測器の出力信号を処理するフィルター部と、
フィルター部から出力された信号に基づいて、ホッピングモードでＺスキャナーの動作を制御するように構成された制御装置と
を備え、
制御装置は、プローブを対象物へと近づけるときのアプローチ速度を第１速度より速い速度として、Ｚスキャナーにプローブを動作させることができるように構成されており、
フィルター部は、アプローチ速度が第１速度より速いときに、出力信号に対して所定の遮断周波数よりも低い信号を逓減させるバンドパスフィルター又はハイパスフィルターで処理した信号を出力するように構成されており、
制御装置は、フィルター部から出力された信号に基づいて、プローブの先端と対象物とが近接したか否かを判定するように構成されており、
第１速度は、１００ｎｍ／ｍｓ以上である、
走査型イオンコンダクタンス顕微鏡。
基本情報
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)
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