目的
光学系の高精度な位置合わせが不要であるとともに、自由な曲面形状を形成するための画素の微細化が不要であり、かつ各センサ間のバラツキを補正するための煩雑な制御手法が不要な、コンパクトな構成としうる、撮像素子の製造方法を提供する。
効果
受光面の形成に転写技術が不要であるため、画素の微細化、および自由な曲面形状を形成することを容易なものとすることが可能である。また、受光面の転写技術が不要なため、高精度な位置合わせを不要とすることが可能である。
技術概要
基板を所望の湾曲形状に作製しておき、
該基板の側方からの光が入射する受光面を備えた受光部を、該基板の側面に、画素電極、有機膜および対向電極を、この順に積層して有機光電変換素子を形成する第1工程と、
該基板の上面に、前記有機光電変換素子からの信号を読み出すための読出し回路を形成する第2工程と、
前記第1工程と前記第2工程とを行って作成した撮像素子単位を、前記上面の向く方向に、複数個、積層する第3工程とからなる、
ことを特徴とする撮像素子の製造方法。