目的
配列した複数の延在ゲートと、複数の電界効果トランジスタと、を備え、延在ゲートの各々は、電界効果トランジスタのゲート電極と電気的に接続した静電気センサを提供する。
効果
帯電性粉体を用いることなく、静電気による帯電を高感度で検出することができる。また、近接センサとして入力に用いることにより、不特定多数の者が触れるボタンやタッチパネル等を用いることなく、衛生的に操作を行うことができる。
技術概要
所定数の電圧線と、
複数の検出線と、
複数の延在ゲートと、
前記延在ゲートの各々に対応し、前記所定数の前記電圧線のいずれか一つと複数の前記検出線のいずれか一つに接続する電界効果トランジスタと、
を備え、
前記延在ゲートの各々は、対応する前記電界効果トランジスタのゲート電極と電気的に接続し、
前記延在ゲートは、1次元状に配列するとともに、隣接する前記所定数の延在ゲートに対応する前記電界効果トランジスタを組として、個々の組において複数の前記電界効果トランジスタの全てが、複数の前記検出線のうちの一つに接続し、個々の組において前記所定数の前記電界効果トランジスタの各々は、前記所定数の前記電圧線の一つに別々に接続し、
前記電界効果トランジスタに前記電圧線により選択電位を印加した際の、前記検出線に流れる電流により前記延在ゲートの近傍の静電気を検出することを特徴とする静電気センサ。