目的
圧力の変化に対する抵抗値変化を緩やかにすることができ、かつ圧力の測定範囲を十分に広く確保可能な感圧センサ、およびその製造方法を提供する。
効果
圧力に対する抵抗値変化を緩やかにすることができ、広い圧力範囲を精度よく測定可能な感圧センサ、およびその製造方法を提供することができる。
技術概要
圧力の変化に応じた抵抗値の変化に基づいて圧力を測定する感圧センサにおいて、
樹脂と加熱膨張後の熱膨張性マイクロカプセルと導電性粒子とを含む多孔質導電膜である第１の抵抗層と、
前記樹脂と前記熱膨張性マイクロカプセルと前記第１の抵抗層以上の量の導電性粒子とを含む多孔質導電膜である第２の抵抗層と、
圧力により変化する抵抗値を測定するために形成された一対の電極と、
を備え、
前記第１の抵抗層と前記第２の抵抗層とを対向させて貼り合わせた構造とする、
ことを特徴とする感圧センサ。
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)
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