適用製品
基板の回転により発生する遠心力を利用した送液装置および分注装置
目的
回転によって発生する遠心力を利用しつつ、簡易な構成により適宜な流路断面積のチャンバに液体を供給し得る送液装置と、当該送液される液体を分岐させて複数のチャンバに供給可能な分注装置とを提供し、さらに当該分注装置を使用する流路デバイスおよび検査チップを提供する。
効果
基板を回転させることによって発生する遠心力を利用しつつ、供給流路内の液体が起点からの距離に相当する圧力と、チャンバ内において逆向きに作用する圧力との差により、緩やかにチャンバ内に液体を供給することができ、極めて簡易な構成により適宜な流路断面積のチャンバに対する液体を円滑に供給し得る。
多種同時検査用の検査チップとして使用可能。
技術概要
所定の流路断面積によって構成された基準流路から、該基準流路の流路断面積よりも拡大させた流路断面積を有するチャンバへ液体を送液するための装置であって、
予め定めた回転中心において適宜範囲による回転数で回転可能な基板と、該基板に設置された流路構成部とを備え、
前記流路構成部は、前記回転中心から任意の距離を有して構成される前記チャンバと、前記チャンバよりも前記回転中心に近い位置を起点とし、該チャンバよりも前記回転中心から離れた位置を経由して構成される供給流路とを備えるものであり、
前記供給流路は、前記チャンバに対して、前記基板の外周側から回転中心側に向かって流入させるように接続されるものであることを特徴とする遠心型送液装置。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
