目的
所望の計測対象範囲における距離を得ることができる距離計測装置及び距離計測方法を提供する。
効果
所望の計測可能範囲を得ることができる距離計測装置及び距離計測方法が提供される。
技術概要
計測光を発生する光源と、
前記計測光の一部である照射光を計測対象面に照射すると共に前記計測光の残りである反射光を反射する光ファイバ端面を含む１本の光ファイバと、
前記照射光が前記計測対象面において反射した後に再び前記光ファイバに入射した戻り光であって、前記戻り光と前記反射光とが干渉して生じる干渉光のスペクトルを得る分光部と、
前記干渉光のスペクトルを用いて、前記光ファイバ端面から前記計測対象面までの距離を得る距離取得部と、を備える距離計測装置。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
