目的
試料の深さ方向について、化学相などの物性の分布を評価する。
効果
試料の深さ方向について、化学相などの物性の分布を評価することができる。
技術概要
放射光γ線ビームを面直方向から試料に照射する照射工程と、
複数のエネルギー領域の各々について、前記放射光γ線ビームを照射された試料から生じる内部転換電子のうち、そのエネルギー領域に属する内部転換電子を計数する計数工程と、
前記複数のエネルギー領域の各々に対応する深さにおける前記試料の物性を、前記計数工程における計数結果に基いて評価する評価工程と、を含んでいる、
顕微計測方法。
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