目的
被測定物の光軸方向に沿った変位量と光軸周りの角度変化量の非接触での同時測定を可能とする干渉計を提供する。
効果
被測定物の光軸方向に沿った変位量と光軸周りの角度変化量の非接触での同時測定が可能となる。これに伴い、干渉計を例えば３つ組み合わせて使用した場合、３次元空間での物体である被測定物のいかなる運動をも測定可能となる等の測定の用途も広がるようになる。
技術概要
直線偏光の光束を発生させる光源と、
光源からの光束の光軸上に設置された１／４波長板および、光軸に沿って光束を反射する反射鏡を含む被測定物と、
光源と被測定物との間の光軸上に配置されて、光束を透過すると共に光束の一部を反射することで、光束を分離しうる第１ビームスプリッタと、
第１ビームスプリッタで反射された光束を２つに分離する第２ビームスプリッタと、
第２ビームスプリッタで分離された２つの光束を相互に角度の異なる偏光板を介してそれぞれ受光する２つの光検出器と、
を含む干渉計。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
