目的
ポーリング処理が簡易なハイブリッドアレイ導波路型光偏向器を提供する。
効果
ポーリング処理が簡易なハイブリッドアレイ導波路型光偏向器を提供することができる。
技術概要
基板上にコアおよびクラッドを有する光導波路の材料として無機材料と有機材料とを両方とも用いたハイブリッド光導波路構造が形成され、入力される光の位相を制御して光変調を行う光変調部を備えるハイブリッドアレイ導波路型光偏向器であって、
ハイブリッド光導波路構造のクラッドは、電気光学材料からなり平面状に形成されたスラブ状クラッドと、スラブ状クラッドとは異なる材料からなりコア周辺に形成された周辺クラッドと、を含んでおり、
光変調部は、複数のコアと、スラブ状クラッドと、周辺クラッドと、を備え、複数のコアに並列に入射するそれぞれの光の位相をスラブ状クラッドの電気光学効果による屈折率変化によって変調し、
光変調部は、
周辺クラッドの一部であって基板に積層された下部クラッドと、
下部クラッドの上に並列に積層された複数のコアと、
周辺クラッドの一部であって複数のコアの間に形成された上部クラッドと、
複数のコアの上で複数のコアすべてに重なる領域に形成された透明電極からなる下部電極と、
スラブ状クラッドと、
スラブ状クラッドの上にコア毎に形成された複数の上部電極と、を備えることを特徴とするハイブリッドアレイ導波路型光偏向器。
基本情報
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)
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