適用製品
病原体不活化装置、および病原体不活化方法
目的
ラジカルの無効消費を抑制することができ、処理のエネルギー効率に優れる病原体不活化装置、および病原体不活化方法を提供する。
効果
ラジカルの無効消費を抑制することができ、処理のエネルギー効率に優れる病原体不活化装置、および病原体不活化方法を提供することができる。
技術概要
プラズマ発生室と、
前記プラズマ発生室内にて間隔を隔てて対向して配置される一対以上の電極と、
前記プラズマ発生室内に流入するプラズマ原料ガスの流量を調整する流量調整器と、
前記プラズマ発生室内の圧力を所定の圧力に調整する減圧ポンプおよび圧力調整器と、
対をなす前記電極の間に放電プラズマを発生させる高圧電源と、を備える、病原体不活化装置。