適用製品
基板上にセリア及び／又はジルコニアを含むナノ粒子を含有する薄膜が形成された積層体
目的
セリア及びジルコニアを含むナノ粒子の基板表面での結晶性堆積層の生成を制御し、さらに配向させ、基板による選択的な結晶面の優先性を持たせた積層体を提供する。
効果
セリア及びジルコニアを含むナノ粒子の基板表面での結晶性堆積層の生成を制御し、さらに配向させ、基板による選択的な結晶面の優先性を持たせた積層体を提供する。
技術概要
基板上に、セリア及び／又はジルコニアを含むナノ粒子を含有する薄膜が形成された積層体であって、
前記ナノ粒子は、（１１１）面において配向性を有し、且つ、Ｌｏｔｇｅｒｉｎｇ因子により算出される配向度が７０％以上であり、
前記ナノ粒子同士の一部又は全部が接していない状態で存在しており、且つ、前記ナノ粒子の被覆率が０．０１〜６０％である、積層体。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
