目的
簡易なステップによって微細構造を得ることができるエッチング装置及びエッチング方法を提供する。
効果
簡易なステップによって微細構造を得ることができるエッチング装置及びエッチング方法が提供される。
技術概要
大気圧プラズマを照射端から被加工物に照射するプラズマ照射機構と、
前記プラズマ照射機構の前記照射端と前記被加工物との相対的な位置を変更する位置決め機構と、
前記位置決め機構及び前記プラズマ照射機構の動作を制御するコントローラと、を備え、
前記コントローラは、
前記大気圧プラズマの照射が停止している前記プラズマ照射機構の前記照射端から前記被加工物までの距離が、前記大気圧プラズマの照射を開始可能な照射開始距離となるように前記プラズマ照射機構及び前記被加工物の少なくとも一方を移動させる位置合わせ動作と、
前記大気圧プラズマを前記照射端から前記被加工物に照射させる照射動作と、を交互に実行させる、エッチング装置。
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