目的
品質の低下を抑制した上で表面が平滑なダイヤモンドを製造する方法及びそのダイヤモンドを提供する。
効果
ダイヤモンドの製造方法は、品質の低下を抑制した上で表面が平滑なダイヤモンドを製造可能である。
また、ダイヤモンドは、一定以上の品質を有する表面が平滑なダイヤモンドである。
技術概要
炭素を含み不可避的に混入される物質以外の不純物を含まない第１ガスを用いた化学気相法により、純ダイヤモンド膜を合成する下地形成工程と、
炭素を含みリンがドープされた第２ガスによる化学気相法によって、前記純ダイヤモンド膜の上側にリン含有ダイヤモンド膜を合成するリン含有膜形成工程とを有することを特徴とするダイヤモンドの製造方法。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
