目的
雑音を抑制し、かつ高感度に磁場を検出する新しい原理の磁気センサを提供する。
効果
雑音を抑制し、かつ高感度に磁場を検出する磁気センサが実現される。特に、磁場によってインダクタンスが大きく変化する巨大磁気インダクタンス効果を利用することで、６００％を超える高いインダクタンス変化率と、９０％／Ｏｅ以上の高い検出感度が実現される。
技術概要
基板上に形成された磁性薄膜と、
前記磁性薄膜に１ｋＨｚ以上、１００ｋＨｚ以下の交流電流を印加する電流源と、
前記磁性薄膜に生じるインダクタンスを計測する計測器と、
を備え、
前記磁性薄膜は長方形の平面形状を有し、短軸方向に磁気異方性が与えられている、
磁気センサ。
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開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
