適用製品
検査装置、判定装置、検査方法及びコンピュータープログラム
目的
対象物における異物の存在についてより早く検査することを可能とする技術を提供する。
効果
対象物における異物の存在についてより早く検査することが可能となる。
技術概要
既知の対象異物及び対象物に対して所定の波長の励起光を照射することによって生じる散乱光を取得することによって得られる対象情報に基づいて、対象物に対して前記所定の波長の励起光を照射することによって生じる散乱光を取得することによって得られる入力情報において対象異物の有無を検査する制御部、を備える検査装置。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
