適用製品
研磨パッド等の被洗浄物を洗浄する洗浄ガン
目的
被洗浄物の洗浄時に高圧の洗浄水が被洗浄物に当たって跳ね返ったしぶき又はミストが装置外に拡散するのを防止できる洗浄ガンを提供する。
効果
洗浄ガンの噴射ノズルを囲繞し噴射した流体の飛散を防止する円筒状飛散防止壁と、円筒状飛散防止壁の内側に配設され、研磨パッド等の被洗浄物に当たって跳ね返った洗浄水のしぶき又はミストを捕獲するミスト捕獲部材と、を備えるので、洗浄ガンから噴射した流体の飛散を効果的に防止することができる。
また、研磨装置の研磨パッドに載置して研磨パッドを洗浄する際に、摺動体によって洗浄ガンの研磨パッド上での移動が容易となる。
技術概要
洗浄ガンであって、
第１洗浄水供給路を有する洗浄ガン本体と、
一端が該第１洗浄水供給路に連通し他端が水供給源に連通する第２洗浄水供給路を有する該洗浄ガン本体と一体的に形成された把持部と、
該洗浄ガン本体に回動可能に取り付けられたトリガーと、
該洗浄ガン本体の先端に取り付けられた噴射口を有する噴射ノズルと、
一端が該噴射口に連通し他端がエア供給源に連通するエア供給路を有する該噴射ノズルに取り付けられたアダプターと、
該把持部に押動可能に取り付けられ該第２洗浄水供給路を選択的に開閉するシャッターと、
該シャッターに対応して該トリガーに取り付けられた凸部と、
該噴射ノズルに固定された取り付けプレートと、
該取り付けプレートの外周に固定された円筒状飛散防止壁と、
該円筒状飛散防止壁の内側に配設され、該噴射ノズルから噴射された水とエアとの混合流体が被洗浄物に当たって跳ね返ったしぶき又はミストを捕獲するミスト捕獲部材と、
該円筒状飛散防止壁の先端に複数配設された摺動体と、を備え、
該ミスト捕獲部材は、ポリイミド系の合成樹脂から形成されていることを特徴とする洗浄ガン。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
