目的
ミクロンレベルの高い空間分解能を保持しつつ複数の検出対象を同時に検出する。
効果
単一細胞などの微小な検出対象の観察に必要な解像度を保持しつつ、pH、電解質イオン濃度ならびにバイオ物質濃度のイメージ画像を取得することができる。
技術概要
表面電位に応じて電位井戸の深さを変化させる複数のセンシング領域と、当該センシング領域を被覆する第1の絶縁層を介してセンシング領域を規定する電極と、当該センシング領域を規定する電極を被覆する第2の絶縁層を介して第1の感応膜が形成され、当該センシング領域を規定する電極と第1の感応膜を接続する貫通孔を備えてなる化学・物理現象の測定ユニットのアレイと、
アレイを構成する当該第1の感応膜の直上にイオノフォアを担持した第2の感応膜が形成され、当該第2の感応膜上に所定の間隔を経て形成された金属から成る第3の感応膜が形成され、
当該第3の感応膜で検出した電位変化は、当該第2の感応膜を介して当該第1の感応膜に伝達されることを特徴とする化学・バイオセンサ素子。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
