適用製品
固体材料の表面内部の局所的な物理的特性を評価する方法
目的
固体材料の表面内部の微細構造に関連する局所的な物理的特性について評価することができる固体材料の表面内部評価方法を提供する。
効果
局所的な物理的特性から表面内部の微細構造に関する不均一性をエロージョン領域においてきめ細かく評価することができ、物理的特性を示す局所エロージョン率の分布を定量的に表示することで、物理的特性（特に機械的特性）と相関する内部の微細構造に関する評価を容易に行うことが可能となる。
技術概要
砥粒を固体材料の表面の所定の投射領域に向かって投射させて衝突させることで投射領域に形成されるエロージョン痕の形状を所定の投射量毎に測定し、測定された形状データに基づいて前記投射領域の任意の表面位置から投射方向のエロージョン深さを投射量毎に算出して前記エロージョン痕に対応する表面内部のエロージョン領域のエロージョン測定位置におけるエロージョン測定データ及び投射量データを取得し、前記エロージョン領域の任意のエロージョン位置においてその近傍の前記エロージョン測定位置の前記エロージョン測定データ及び前記投射量データに基づいて単回帰分析により局所エロージョン率を算出し、算出された前記局所エロージョン率の前記エロージョン位置に対応する分布に基づいて表面内部の局所的な物理的特性を評価する固体材料の表面内部評価方法。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
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