適用製品
結晶セレン膜を含む光電変換膜およびその製造方法、光電変換膜を備える光電変換素子
目的
テルルの拡散に起因する結晶欠陥のない結晶セレン膜を有する光電変換膜、およびそれを備える光電変換素子を提供する。
また、テルル膜を用いることなく、結晶セレン膜を形成できる光電変換膜の製造方法を提供する。
効果
テルル膜上に形成されたものではなく、テルルの拡散に起因する結晶欠陥のないものであり、テルル膜上に形成された結晶セレン膜と比較して、結晶欠陥が少なく高品質である。
また、下地層としてテルル膜を形成することなく、結晶セレン膜を形成できる。
また、テルルの拡散に起因する結晶欠陥のない高品質な結晶セレン膜を有する。
技術概要
遷移金属膜と、
前記遷移金属膜上に接して形成されたセレン化遷移金属膜と、
前記セレン化遷移金属膜上に接して形成された結晶セレン膜とを有することを特徴とする光電変換膜。