適用製品
光学性能の低下を低減させ、耐熱性にすぐれた円偏光ミラーもしくはゼロシフトミラー
目的
広帯域特性を維持しながら入射角を広く選択することができる光学ミラー(円偏光ミラーおよびゼロシフトミラー)を提供する。
また、誘電体が2種類の高屈折率層(高屈折率部)と低屈折率層(低屈折率部)のみより構成できる光学ミラー(円偏光ミラーおよびゼロシフトミラー)を提供する。
さらに、誘電体多層膜による高反射層を用いずに、金属層の上に直接誘電体グレーティングを付加した幅広い楕円率の波長特性を有し、広帯域特性にすぐれた光学ミラー(円偏光ミラーおよびゼロシフトミラー)を提供する。
効果
広帯域特性を維持しながら入射角を広く選択することができる光学ミラー(円偏光ミラーおよびゼロシフトミラー)を提供することが可能となる。
誘電体が2種類の高屈折率層(高屈折率部)と低屈折率層(低屈折率部)のみより構成できる光学ミラーを提供することが可能となる。
誘電体多層膜による高反射層を用いずに、金属層の上に直接誘電体グレーティングを付加した幅広い楕円率の波長特性を有し、広帯域特性にすぐれた光学ミラーを提供することが可能となる。
技術概要
方位角φ=45度で入射する直線偏光に対して、基板上に、高屈折率層と低屈折率層を交互に複数組積層してなる高反射層と、該高反射層の上に間隔を隔てて2次元配列される横断面が矩形の複数の柱状体部よりなる2次元周期構造体部から構成され、前記柱状体部が高屈折率部と該高屈折率部の上に設けられる低屈折率部を積層してなり、前記基板と前記高反射層との間に金属層が設けられていることを特徴とする光学ミラー。