適用製品
可搬型の精密測定装置、及び精密測定装置を備えた移動型精密計測ロボット
目的
測定時の安定性を向上させることが可能となる可搬型の精密測定装置、及びそのような精密測定装置を備えた移動型精密計測ロボットを提供する。
効果
載置された面に電磁石によって精密測定ユニットを固定することにより、精密測定ユニットの安定性を向上させることができる。そして、精密測定ユニットが面に固定された状態で該面の特性を測定するようにすることにより、精密測定ユニットが振動の影響を受けにくくなり、測定精度を向上させることが可能となる。
技術概要
可搬型の精密測定装置であって、
ベース部材と、
該ベース部材に取り付けられた精密測定ユニットと、
前記精密測定ユニットに対する相対的位置が固定されるように該ベース部材に取り付けられた電磁石であって、当該精密測定装置が載置された面に磁気吸着して該精密測定ユニットを該面に対して動かないように固定するための電磁石と、
を備え、
該電磁石によって該精密測定ユニットを該面に対して動かないように固定した状態で、該精密測定ユニットで該面の特性を測定するようにされた、精密測定装置。