適用製品
被測定体などの光学素子の精密なアライメント（姿勢決め、または、位置決め）を必要としない干渉型測距計、好ましくは、レーザー干渉型測距計
目的
構造が簡単でありながら、被測定体が変位、回転などしても、精度の高い位置、および／または、変位の測定を可能にする、レーザー干渉型測距計を提供する。
また、上記干渉型測距計などに適用可能な、精度の高く、調整不要な完全再帰反射体を提供する。
効果
構造が簡単でありながら、被測定体が変位、回転などしても、精度の高い位置および／または変位の測定を可能にする、レーザー干渉型測距計を提供することができる。
また、干渉型測距計などに適用可能な、高精度で、調整が不要な干渉型測距計完全再帰反射体を提供することができる。
技術概要
干渉型測距計１に、被測定対象を含み、前記被測定対象と対向する位置に配設された光路補償反射鏡４１とを含み、往復光路が完全に一致する光路を提供する、完全再帰反射体４０Ｂを用いる。完全再帰反射体４０Ｂは、被測定対象としての反射鏡４２と、偏光ビームスプリッタ４７と、偏光ビームスプリッタと反射鏡４２との間に配設されたコーナーキューブリフレクタを用いた再帰反射体４３Ｂと、光路補償反射鏡４１と、第１の偏光子４５と、第２の偏光子４６と、第３の偏光子６１と、第４の偏光子６２とを有する。第３の偏光子６１と、第４の偏光子６２とが、再帰反射体４３Ｂに出射光の含まれる楕円偏光、斜め偏光を修正して直線偏光を偏光ビームスプリッタ４７に入射させる。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
