適用製品
インクジェットヘッド、インクジェット記録装置、およびインクジェットヘッドの製造方法
目的
駆動効率の低下を抑制できるインクジェットヘッド、インクジェット記録装置、およびインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
効果
保護膜が、駆動素子の上にある絶縁膜の一部を露出させる開口部を有する。これにより、保護膜の膜応力を低減でき、インクジェットヘッドの駆動効率を向上できる。
技術概要
インクを収容する圧力室を有する基材と、
前記圧力室を塞ぐ第１の面と、前記第１の面の反対側にある第２の面と、を有する振動板と、
前記振動板の前記第１の面と第２の面を貫通するノズルと、
前記振動板の前記第２の面にあって、電圧が印加されたときに前記振動板を変形させることで前記圧力室の容積を変化させる駆動素子と、
前記振動板の前記第２の面と、前記駆動素子と、を覆う絶縁膜と、
前記絶縁膜の上にあるとともに、前記駆動素子の上にある前記絶縁膜の一部と対応する部分に空間部分である凹部を有する絶縁性の保護膜と、
を具備することを特徴とするインクジェットヘッド。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
