適用製品
積層された各有機光電変換膜を駆動する画素電極等を回路基板に接続するための電極を形成する積層型撮像素子およびその製造方法
目的
有機光電変換膜が、積層プロセスでパターニングや膜剥離を行う場合に用いられる薬品や溶媒等によりダメージを受けず、かつ、その製造工程で高温加熱処理を不要とすることで、有機光電変換膜の特性劣化を抑制し得る積層型撮像素子およびその製造方法を提供する。
効果
有機光電変換膜を含む光電変換部よりも下方に配された回路基板で、有機光電変換膜の信号読出しを可能とし得る有機光電膜積層型の撮像素子を有機光電変換膜の劣化を抑制しつつ製造することができる。
技術概要
複数の有機光電変換膜２０、３０の各々の下部に位置する画素電極３１、４１と、読出し回路部３とを接続する際に、回路基板２の上方に、互いに高さの異なる導体間パス電極３２、４２の各々を、対応する画素電極３１、４１と読出し回路部３が導通し得るように形成する第１工程と、形成された導体間パス電極３２、４２の各々に対応させて、画素電極３１、４１上に、有機光電変換膜２０、３０および共通電極２４、３４をこの順に積層するとともに、下部に位置する共通電極２４と、この上方に隣接する画素電極３１との間に介在する絶縁膜２７を形成する第２工程とをこの順に行う。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
