目的
両電極間の印加電圧を固体撮像素子の耐電圧以内に抑えることが可能であり、光電変換膜の面方向における電界強度の均一性を高く維持しつつ、光電変換膜内でのアバランシェ増倍現象を利用可能な、高い電界強度を両電極間に発生させ得る光電変換膜積層型固体撮像素子を提供する。
効果
電圧を固体撮像素子の耐電圧以内に抑えつつ、光電変換膜の面方向における電界強度の均一性を高く維持しつつ、光電変換膜内でのアバランシェ増倍現象を利用可能な、高い電界強度を、両電極間に発生させることが可能となる。
技術概要
所定の波長域に感度を有する光電変換膜が回路基板上に積層され、該回路基板の表面と平行な一平面上において画素要素がアレイ状に配列され、該画素要素の配列の少なくとも一方向において、陽極と陰極を構成する各電極が交互に配設されてなり、
前記画素要素の１個または隣接する複数個の群によって１画素が構成され、
前記画素要素には各々、前記陽極と前記陰極を構成する各電極が少なくとも１つずつ配され、これら２つの電極のうち少なくとも該陰極を構成する電極の前記一方向の電極幅、および該陽極と該陰極を構成する各電極の前記一方向の間隔が、いずれも10ｎｍ以下とされ、
前記陽極および前記陰極を構成する各電極の断面視における角部分の形状が、下式を満足することを特徴とする光電変換膜積層型固体撮像素子。
0.6≦前記電極の前記角部分の曲率半径／前記電極の厚み≦1.0
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