適用製品
信号処理装置、駆動制御装置、及び、走査型プローブ顕微鏡
目的
従来よりも走査速度の高速化することができる信号処理装置、駆動制御装置、及び、走査型プローブ顕微鏡を提供する。
効果
従来よりも走査速度の高速化することができる信号処理装置等を実現することができる。
技術概要
アクチュエータの駆動に用いられる第１信号を第２信号に変換する信号処理装置であって、
前記アクチュエータの周波数特性を表す実伝達関数を模擬する第１模擬伝達関数を用いて、前記第１信号に基づく信号に、前記第１模擬伝達関数の処理を施す第１模擬伝達関数処理部を有する信号処理部と、
前記第１模擬伝達関数処理部から出力された信号に基づく第３信号を微分する第１微分処理部とを備え、
前記第２信号は、微分された前記第３信号と、前記第１信号に基づく信号及び前記第３信号に基づく第４信号とを用いて、前記第１信号を変換した信号である
信号処理装置。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
