目的
高い圧電特性が得られる圧電体素子及び圧電体素子の製造方法を提供する。
効果
高い圧電特性が得られる圧電体素子及び圧電体素子の製造方法が提供される。
技術概要
基板、第１電極層、圧電体層、及び第２電極層をこの順で備え、
前記圧電体層は、Ｐｂ（Ｚｒ↓(１−Ｘ)Ｔｉ↓Ｘ）Ｏ↓３で表されるチタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスからなり、前記Ｘが０．５０〜０．６５であり且つ正方晶系であるＰＺＴ層を有し、
前記第１電極層は、ニッケル酸ランタン系セラミックスからなるＬＮＯ層を有し、
前記基板は、熱膨張係数が２．５９×１０↑(−６)／Ｋより大きく、且つ前記ＰＺＴ層の熱膨張係数より小さい、圧電体素子。
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