目的
大気圧及び室温環境下にて被処理材の表面を窒化処理することが可能な被処理材の窒化処理方法及び窒化処理装置を提供する。
効果
大気圧及び室温環境下にて被処理材の表面を改質することが可能な被処理材の窒化処理方法及び窒化処理装置が提供される。
技術概要
導電性を有する被処理材の表面を含む領域を窒化処理する窒化処理装置を準備する工程で、窒化処理のための改質元素を活性化する大気圧プラズマを発生させる処理領域形成部と、改質元素を含む改質ガスを処理領域形成部に供給するガス供給部と、大気圧プラズマを発生させるための交流電圧を処理領域形成部に供給する電源部と、を備える窒化処理装置において、処理領域形成部は、誘電体により形成されると共に被処理材から離間して配置されて、被処理材に対面する対面領域を含む主面を有する誘電体部材と、電源部に接続されると共に誘電体部材の主面とは逆側の裏面に配置され、対面領域と重複する電極部材と、を有する、窒化処理装置を準備する工程と、
誘電体部材を挟んで電極部材と重複するように被処理材を配置する工程と、
誘電体部材の主面と被処理材との間に改質ガスを供給すると共に誘電体部材の主面と被処理材との間に大気圧プラズマを発生させることにより、窒化処理を実施する工程と、を有し、
基準電位を基準とした被処理材の電位は、基準電位を基準とした電源部が出力する基準電位を基準とした電圧の電位と同電位である、窒化処理方法。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
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