適用製品
電子顕微鏡、電子−光子相関測定装置、及び電子−光子相関測定方法
目的
高い空間分解能を有する電子顕微鏡を提供する。
効果
高い空間分解能を有する電子顕微鏡が提供される。
技術概要
試料に電子を照射する電子銃と、
前記試料に照射された前記電子を検出する電子検出器と、
前記電子が前記試料に照射されたときに前記試料から放出される光子を検出する光子検出器と、
前記電子検出器が前記電子を検出した時間と、前記光子検出器が前記光子を検出した時間とに基づいて、検出された前記光子ごとに、前記電子が前記試料に照射された時間と前記光子が前記試料から放出された時間との時間差を演算し、前記時間差の分布を示す電子−光子時間相関を演算する演算器と、
を備える、電子顕微鏡。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
