適用製品
特定の金属からなるナノワイヤと高抵抗半導体からなる酸化物とを組み合わせたガスセンサ
目的
酸素ガスに対して応答速度が速く、感度が高いガスセンサを提供する。
効果
酸素ガスに対して応答速度が速く（すなわち、応答時間が短く、回復時間が短い）、さらに、感度が高いとの効果を奏する。また、動作温度が低くても（例えば６０〜３００℃程度）酸素ガスが検出できるとの効果も有する。また、酸素ガス濃度が低くても酸素ガスを検出可能であることから、検出可能な酸素ガス濃度の範囲が広いとの効果も有する。
技術概要
絶縁表面を有する基板と、
前記基板の前記絶縁表面上に形成された、第１パッド電極及び第２パッド電極と、
前記第１パッド電極と前記第２パッド電極とを連結し、前記基板の前記絶縁表面上に形成された、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、ロジウム（Ｒｈ）、ルテニウム（Ｒｕ）、オスミウム（Ｏｓ）、イリジウム（Ｉｒ）、及びこれらの合金から選ばれた一種以上からなるナノワイヤと、
前記ナノワイヤと接触した、前記ナノワイヤを構成する金属とは異種の金属の酸化物の高抵抗半導体からなる酸化物層であって、（Ｉ）前記基板の前記絶縁表面と前記ナノワイヤとの間に位置し、前記ナノワイヤの下面と接触する、又は、（ＩＩ）前記ナノワイヤ上に位置し、前記ナノワイヤの上面と接触する、の一方又は両方を少なくとも満たす酸化物層と、
を有し、
前記第１パッド電極と前記第２パッド電極との間に電流を流し、前記第１パッド電極と前記第２パッド電極との間で検出される電気信号の変化に基づいて、ガスを検出するガスセンサ。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
