適用製品
吸着パッドによって対象物を吸着する吸着ユニットとそれを備えた吸着装置
目的
歪みセンサや近接センサを用いることなく、吸着パッドによる対象物の吸着状態を検知可能な吸着ユニット及びそれを備えた吸着装置を提供する。
効果
吸着ユニットによれば、歪みセンサや近接センサを用いることなく、吸着パッドによる対象物の吸着状態を検知可能である。
技術概要
対象物を負圧によって第1面で吸着する吸着パッドを具備する吸着ユニットにおいて、
外部から与えられる電圧を前記吸着パッドの前記第1面の反対側の第2面に印加する入力端子と、
前記吸着パッドが吸着した前記対象物から力を受けて、該吸着パッドの前記第2面への接触状態が変わる計測端子とを備え、
前記吸着パッドは少なくとも前記第2面側が導電性を有する弾性体からなり、
前記計測端子と通電状態の前記吸着パッドとの間の接触抵抗は、前記吸着パッドの前記対象物の吸着状態に応じて変化することを特徴とする吸着ユニット。