適用製品
鋼材に対しプラズマ窒化処理を施すプラズマ窒化装置およびプラズマ窒化方法
目的
低温窒化処理において、拡張相の膜を従来よりも迅速に形成できるプラズマ窒化装置等を実現する。
効果
低温窒化処理において、拡張相の膜を従来よりも迅速に形成できる。
技術概要
鋼材に対しプラズマ窒化処理を施すプラズマ窒化装置であって、
前記鋼材の付近に配置されたスクリーンと、
前記鋼材および前記スクリーンに陰極が電気的に接続された直流電源と、を備え、
前記鋼材はステンレス鋼材であり、
前記スクリーンは、ニッケルまたはニッケル基合金によって形成されたものである、プラズマ窒化装置。