目的
赤外線の入力に伴わない電流、すなわち暗電流が発生することがあり、これを抑えて信号対雑音比(SN比)を改善する。
効果
一対のアイソレーションゲートに印加する電位を制御する制御部と、前記第2電子層に流れる電流を検出する検出部と、を備える光検出器が提供される。
基板の厚さ方向に平行な振動電場を誘導する段階と、前記第2電子層に流れる電流を検出する段階と、を備える光検出方法が提供される。
技術概要
絶縁層を挟んでそれぞれ2次元方向に延在する第1電子層及び第2電子層を含む基板と、
前記基板の前記第1電子層側の表面上に前記2次元方向のうちの第1方向に離間して配設され、光を受光して前記基板の厚さ方向に平行な振動電場を誘導する一対のウィングゲートと、
前記基板上の、前記一対のウィングゲートの前記第1方向に交差する前記2次元方向のうちの第2方向の一側及び他側に配置される一対のアイソレーションゲートと、
前記一対のウィングゲートの少なくとも一方に印加する電位を制御するとともに前記一対のアイソレーションゲートに印加する電位を制御する制御部と、
前記第2電子層に流れる電流を検出する検出部と、
を備える光検出器。