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Ｘ線回折測定方法およびＸ線回折測定装置

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開放特許情報番号：L2024001422 開放特許情報登録日：2024/6/7 最新更新日：2026/4/23

基本情報
出願番号
特願2022-125870
公開番号
特開2023-169846
登録番号
特許第7825270号
出願日
2022/8/5
公開日
2023/11/30
出願人
国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構
特許権者
国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構
権利化状況
権利化済
発明の名称
Ｘ線回折測定方法およびＸ線回折測定装置
開放特許情報
技術分野
情報・通信
機能
その他
適用製品
Ｘ線回折測定方法およびＸ線回折測定装置
目的
微小結晶粒の安定的なＸ線回折測定を実現する。
効果
微小結晶粒の安定的なＸ線回折測定を実現できる。
技術概要
基板の基板面上に配置される複数の微小結晶粒から、前記基板面に沿う結晶面を有する微小結晶粒を探索する探索工程と、
前記探索された微小結晶粒をＸ線回折測定する測定工程と、
を有する、Ｘ線回折測定方法。
イメージ図
実施実績　　　：
無
許諾実績　：
無
特許権譲渡　　：
否
特許権実施許諾：
可
登録者情報
その他の情報
関連特許
（国内）: 無
（国外）: 無
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