適用製品
カラーセンター特性の測定方法および測定装置
目的
カラーセンター特性の効率的な測定を図った測定方法および測定装置を実現する。
効果
カラーセンター特性の効率的な測定を図った測定方法および測定装置を実現することができる。
技術概要
光源からの光ビームを対物レンズ部で集光して試料に照射することによって前記試料のカラーセンター特性を測定する測定方法であって、
前記試料の厚さ方向の測定範囲の長さである測定長に基づいて、前記試料に照射する光ビームのレイリー長の範囲を決定する工程と、
前記対物レンズ部によって集光された光ビームのレイリー長が、前記レイリー長の範囲に含まれるように、前記対物レンズ部を設定する工程と、
を有する、測定方法。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
