適用製品
水素透過検出のための試料及びその製造方法
目的
昇華又は蒸発によりガス放出しやすい材料を測定対象の試料とする場合であっても、試料からの昇華又は蒸発によるガス放出を遮蔽することができると共に、チャージアップの発生を抑止することができるようにした水素透過検出のための試料及びその製造方法を提供する。
効果
昇華又は蒸発によりガス放出しやすい材料を測定対象の試料とする場合であっても、この試料からの昇華又は蒸発によるガス放出を遮蔽することができると共に、チャージアップの発生を抑止することができるようにした水素透過検出のための試料及びその製造方法を提供することができる。
技術概要
試料の背面から透過した水素原子あるいは当該試料の材料内部から湧出した水素原子を、超高真空中で走査型電子顕微鏡の走査電子により電子遷移誘起で励起させて水素イオンを脱離させ、該脱離した水素イオンのＥＳＤ像を、前記走査型電子顕微鏡の電子線の走査に同期して取得する、水素透過検出のための試料であって、
表面領域に配設された導電領域又は絶縁領域を備え且つ該導電領域又は絶縁領域が昇華又は蒸発によりガス放出しやすい材料を含む試料本体と、
前記試料本体の導電領域又は絶縁領域を含む表面全体に亘って配設された水素透過性を備え且つ前記試料本体からのガス放出を遮蔽する導電性薄膜と、
を備える、水素透過検出のための試料。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
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