目的
量子井戸型の光検出器の感度の問題を解決して、大出力の光電変換電流が得られる量子井戸型光検出器およびその使用方法を提供する。
効果
高感度、大出力の光電変換電流が得られる量子井戸型の光検出器およびその使用方法が提供される。
技術概要
第１および第２主表面がバリア層で挟み込まれた量子井戸層を１層以上含む多重量子井戸構造体を有し、
前記量子井戸層はドーピングされており、
前記量子井戸層と垂直な方向にバイアス電圧を印加したときに、光照射により生じる光電流の増分を前記量子井戸層の伝導帯において生じるサブバンド間遷移を利用して検出し、
出力取り出し用の電極が、前記バリア層の最外面にコンタクト層を介して配置されており、
光検出領域の前記多重量子井戸構造体への電流供給が前記量子井戸層の面内を通じて行われる、光検出器。
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