適用製品
光軸方向に延びるピークを持ちサイドローブが抑制されたレーザービームを形成するためのレーザービーム整形装置、それを利用する除去加工装置、およびそれらに用いる輪帯位相素子
目的
従来のベッセルビームを形成するために現実の円錐プリズム（アキシコン）を採用しつつサイドローブを有効に抑制するための実用性の高いレーザービーム整形手法を提供することにより、レーザービーム整形装置および除去加工装置の高度化に貢献する。
効果
輪帯位相素子と透過光学素子を組合せただけの簡易な構造により、ベッセルビームに付随するサイドローブを抑制した整形ベッセルビームを実現することができる。
技術概要
ある回転軸まわりに軸対称で当該回転軸からの距離に応じ増減する位相分布を所定波長のレーザー光に付与する輪帯位相素子と、
ある円錐軸を持つ略円錐側面の形状にされた突出面を少なくとも表面の一部に有し、前記所定波長において周囲より高い屈折率を示す材質の透過光学素子と
を備え、前記輪帯位相素子と前記透過光学素子の配置は、前記レーザー光が前記回転軸と前記円錐軸とに沿って進み前記突出面を通過するようになっており、
前記輪帯位相素子は、前記透過光学素子とともに使用されるとき、前記セントラルローブの周りのサイドローブに分配されることとなる光を前記セントラルローブに集める作用を発揮するものであり、
前記レーザー光からビーム軸方向に延びたセントラルローブを持つレーザービームを形成する
レーザービーム整形装置。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
