適用製品
エミッタ、その製造方法、それを用いた電子銃、および、それを用いた電子機器
目的
高効率で安定に電子を放出するエミッタ、その製造方法、それを用いた電子銃、および、それを用いた電子機器を提供する。
効果
長期的に安定な電子銃およびそれを用いた電子機器を提供できる。
集束イオンビームを用いることにより、ＲＥＯｘで表される化合物は容易にナノニードルに加工され、エミッタを提供できる。
技術概要
ナノニードルを備えたエミッタであって、
前記ナノニードルは、一般式ＲＥＯｘ（ただし、ＲＥは希土類元素であり、ｘは１以上１．５未満）で表される化合物からなる、エミッタ。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
