適用製品
固体撮像素子およびその製造方法に関し、特に、光電変換部が結晶セレンおよび酸化ガリウムのＰＮ接合からなる接合型の固体撮像素子およびその製造方法
目的
低電圧でのキャリア増倍を可能としつつ、不純物の添加による暗電流の増加を抑制可能な固体撮像素子およびその製造方法を提供する。
効果
低電圧でのキャリア増倍を可能としつつ、不純物の添加による暗電流の増加を抑制可能な固体撮像素子およびその製造方法を提供することができる。
技術概要
信号読み出し回路基板上に第１アモルファスセレン膜を形成する工程と、
透明基板上に不純物が添加された酸化ガリウム膜を形成する工程と、
前記酸化ガリウム膜に第１熱処理を施して、前記酸化ガリウム膜を結晶化させる工程と
、
結晶化した前記酸化ガリウム膜上に第２アモルファスセレン膜を形成する工程と、
前記第１アモルファスセレン膜と前記第２アモルファスセレン膜とを接合する工程と、
接合したアモルファスセレン膜に第２熱処理を施して、前記アモルファスセレン膜を結
晶化させる工程と、
を含むことを特徴とする固体撮像素子の製造方法。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
